仪器名称：快速退火炉

仪器型号：AccuThermo AW 410

生产厂家：美国Allwin21 Corp.

仪器安装地点：超净大厅

仪器管理员：张家斌

设备简介：

用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长等快速热处理工艺。技术指标：快速升温与降温控制：10-150°C/s；样片尺寸： 4英寸以下

参考工艺结果：退火温度420°C，退火时间300S