仪器名称：光刻胶处理系统

仪器型号：GIGAbatch310M

生产厂家：德国PVA-TePla

仪器安装地点：南校区理工科技大厦一楼超净室

仪器管理员：鲍妮

设备简介：功能：去除光刻胶残胶，晶圆和衬底的清洁。