仪器名称：光刻机

仪器编号：（H97-17,国产南光），[2B]

仪器简介：

用途：
主要用于光刻曝光使用
主要技术参数：
1.曝光类型：单面
2.曝光面积：≥φ120mm
3.光束不平行度：≤6°
4.曝光不均匀性：≤±5%
5.曝光强度：≥5mw/cm2
6.曝光分辨率：≤1.5μm
7.曝光模式：套刻曝光
8.对准精度：≥5μm
9.扫描范围：X：±40mm   Y：±35mm
10.对准范围：X、Y调节±4mm，旋转调节90°
11.最大升降：8mm