仪器名称：热蒸发系统

仪器型号：ZHD-300

生产厂家：北京泰科诺

仪器安装地点：科技大厦A座一楼超净间

仪器管理员：李洋

设备简介：

主要功能：热沉焊料蒸镀，包括In、InSn、AuSn材料等，容易形成小晶粒纹理薄膜，确保良好的晶体结构和较高的剪切强度，用于半导体激光器的制备。

漏率：优于3E-3Pa.L/s

工件台转速：0至20转/分钟可调