运行管理
仪器名称:莱宝电子束镀膜机
仪器型号:AR710
生产厂家:德国莱宝
仪器安装地点:科技大厦A座一楼
仪器管理员:张家斌
设备简介:采用电子枪热蒸发的方式蒸镀镀膜材料,用于制备半导体腔面膜及光学薄膜,极限真空3E-5Pa,配备8个坩埚,VEECO MARK2离子源,POLYCOLD冷泵。
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