高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
日期:2025年6月28日 星期六

运行管理

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莱宝电子束镀膜机
2019-10-11 浏览:

                                                                                

仪器名称:莱宝电子束镀膜机 

仪器型号:AR710

生产厂家:德国莱宝

仪器安装地点:科技大厦A座一楼

仪器管理员:张家斌

设备简介:采用电子枪热蒸发的方式蒸镀镀膜材料,用于制备半导体腔面膜及光学薄膜,极限真空3E-5Pa,配备8个坩埚,VEECO MARK2离子源,POLYCOLD冷泵