仪器名称：SVT超高真空解理机

仪器型号：WP-15

生产厂家：美国SVAT公司

仪器安装地点：长春理工大学科技大厦A座1楼超净间

仪器管理员：闫昊

设备简介：

SVT公司的样品解理部件可以将15mm（其他尺寸可选）的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。

所有解理出的bar条被收集到样品托，堆叠在一起进行下一步批量加工。

独特设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。

此解理工具可完全适用于UHV环境。
解理机可以增加钝化层沉积模块。

解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室，不用暴露大气。
 
规格
在线bar条解理

加工15mm×15mm 样品（10mm-32mm可选）
加工成15mm×1mm 样品（1mm-5mm宽度可选）
8''法兰接口
可烘烤至180^oC，（200^oC可选）
样品可以两种方向加工
UHV环境兼容
Cassette装取

优势点

降低半导体激光器墙面的退化及损伤（cod）可提高激光器件的可靠性，通过真空解理可以减少腔面污染、减少腔面处电流注入提升功率、也可以一直腔面的光吸收