仪器名称：快速图谱仪

仪器编号：RPM2000S

仪器简介：

用途：光荧光谱mapping测量，用于外延片光学均匀性表征。
主要技术参数：
1 测试范围： 200-1700 nm
2 扫描样品尺寸 2-6 英寸
3 扫描速率 30秒 （2寸晶圆 毫米空间解析度）
3 激发源： 532nm激光器 150 mW
4. 波长重复性 ±3nm