仪器名称：扫描电子显微镜

仪器编号： S-4200，日本日立公司

仪器简介：

用途：
样品表面形貌测试仪器。15kV加速电压下1.6nm的分辨率，更保证1kV加速电压下5nm的分辨率。
科研教学,质量检测,对外测试服务。
主要技术参数：
1.分辨率：1.6nm(高电压)
          5.0nm(低电压)
2.放大倍数：40倍—50万倍
3.冷阴极场发射电子枪
4.最大样品尺寸：102mm dia