职 务:实验技术人员
职称: 初级工程师
研究方向:ICP刻蚀,PECVD镀膜,减薄抛光工艺
通讯地址:吉林省长春市卫星路7186号科技大厦A座
邮政编码:130000
教育经历
2009.09——2011.06 吉林大学 学士学位
2011.09——2014.06 东北师范大学 硕士学位
论文专利
1.激光能量密度对溶胶凝胶IZO薄膜结构性能的影响、2018、中国科技论文、中文核心期刊论文。
2.Ar/SF6环境下使用感应耦合等离子体刻蚀SiO2速率的研究、2018、科技风、其它正式发表的论文。
3.Modulation of electron transportation in amorphous and polycrystalline indium–zinc-oxide films grown by pulse laser deposition、2015、Journal of Non-Crystalline Solids 、SCI、3区、IF2.6.