高功率半导体激光国家重点实验室-长春理工大学
日期:2025年6月25日 星期三
满旭
2019-10-10 浏览:

职 务:实验技术人员

职称: 初级工程师

研究方向:ICP刻蚀,PECVD镀膜,减薄抛光工艺

通讯地址:吉林省长春市卫星路7186号科技大厦A座

邮政编码:130000


 

教育经历

2009.09——2011.06  吉林大学   学士学位

2011.09——2014.06  东北师范大学 硕士学位

 

论文专利

1.激光能量密度对溶胶凝胶IZO薄膜结构性能的影响、2018、中国科技论文、中文核心期刊论文。

2.Ar/SF6环境下使用感应耦合等离子体刻蚀SiO2速率的研究、2018、科技风、其它正式发表的论文。

3.Modulation of electron transportation in amorphous and polycrystalline indium–zinc-oxide films grown by pulse laser deposition、2015、Journal of Non-Crystalline Solids 、SCI、3区、IF2.6.