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扫描电子显微镜

仪器名称:扫描电子显微镜

仪器编号: S-4200,日本日立公司

仪器简介:

用途:
样品表面形貌测试仪器。15kV加速电压下1.6nm的分辨率,更保证1kV加速电压下5nm的分辨率。
科研教学,质量检测,对外测试服务。
主要技术参数:
1.分辨率:1.6nm(高电压)
          5.0nm(低电压)
2.放大倍数:40倍—50万倍
3.冷阴极场发射电子枪
4.最大样品尺寸:102mm dia
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