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电子束镀膜机

仪器名称:电子束镀膜机

仪器编号:(ARES710),[2A]

仪器简介:

用途: ARES710全自动电子束镀膜机主要用于制备多层介质高反射膜、各种宽带减反射膜、偏振膜、干涉截止滤光片、带通滤光片等。
主要技术参数:
1真空室内径710mm
2极限压力≤5×10-7mbar
3漏气速率≤8×10-5 mbar•l/s
4恢复真空35分钟之内达到≤8.0×10-6mbar
5监控波长范围400nm-2400nm
6基片最高加热温度250℃
版权所有:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室 通信地址:长春市卫星路7186号科技大厦A209 邮编:130022 电话:0431-85582473

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